1. एक खुली संरचना को अपनाता है, जो जुदा करने और रखरखाव के लिए सुविधाजनक है;
2 . अंतर्निर्मित झंझरी या चुंबकीय झंझरी प्रतिक्रिया प्रणाली , संकल्प 0 . 1um , 0 . 5um , 1um , 5um वैकल्पिक के लिए है;
3 . चलती चुंबक फ्लैट रैखिक मोटर को अपनाना;
4 . सटीकता को ± 1um तक दोहराएं;
5 . छोटे आकार और सरल संरचना , जो हल्के भार और उच्च परिशुद्धता अवसरों के लिए उपयुक्त है;
6 . जल्दी से XY क्रॉस चरणों में इकट्ठा हो जाते हैं;
