परिचय

चीन में, रैखिक मोटर्स के अनुसंधान और निर्माण का पता 1950 के दशक के अंत में लगाया जा सकता है। यह मुख्य रूप से उन उत्पादों पर आधारित है जो कुछ उपकरणों का अध्ययन करने के लिए कॉलेजों और विश्वविद्यालयों और वैज्ञानिक अनुसंधान संस्थानों द्वारा उपयोग या विकसित किए गए हैं; हमारे देश ने 1960 के दशक के अंत से 1970 के दशक की शुरुआत तक रैखिक मोटरों के लिए बड़े पैमाने पर उत्पादन शुरू किया है, जिन्हें 1970 के दशक की शुरुआत में विभिन्न उद्योगों में उपयोग में लाया गया है; रैखिक मोटर्स के उत्पादन और अनुसंधान ने 1970 के दशक के मध्य से 1980 के दशक के मध्य तक सफलता हासिल की है; तैयार उत्पाद विकास के चरण में थे, और उच्च प्रदर्शन वाले इलेक्ट्रिक मोटर्स की नई किस्में लगातार विकसित की जा रही हैं। 1980 के दशक के मध्य से, रैखिक मोटर्स के सटीक मॉडल पर बहुत सारे शोध कार्य किए गए हैं, और विभिन्न हाइब्रिड रैखिक मोटर्स और ड्राइव का व्यापक रूप से उत्पादों के रूप में उपयोग किया गया है। 20 से अधिक वर्षों के लिए, डायरेक्ट-ड्राइव लीनियर मोटर्स ने कई हाई-टेक उद्योग अनुप्रयोगों सहित कई अनुप्रयोगों में प्रदर्शन में काफी सुधार किया है। आज, डायरेक्ट ड्राइव तकनीक आधुनिक मशीनों की उच्च उत्पादकता, उच्च परिशुद्धता और गतिशील प्रदर्शन के लिए एक उन्नत समाधान है।

वास्तविक जीवन में, हमारे सामान्य मोटर मूल रूप से घूर्णन गति के साथ प्रेरण मोटर होते हैं, जिनका व्यापक रूप से घरेलू उपकरणों, ऑटोमोबाइल, औद्योगिक उपकरण और अन्य उद्योगों में उपयोग किया जाता है। रैखिक मोटर्स के सिद्धांत को एक घूर्णन गति प्रेरण मोटर के रूप में समझा जा सकता है, और इसे व्यास की दिशा में काटकर एक रैखिक मोटर में समतल कर दिया जा सकता है। एक रेखीय मोटर में घूर्णन गति की प्रेरण मोटर को एक संदर्भ के रूप में लेते हुए, यह घूर्णन मोटर (प्राथमिक कहा जाता है) के स्टेटर वाइंडिंग के बराबर है; और यह घूर्णन मोटर (द्वितीयक कहा जाता है) के गिलहरी रोटर के बराबर है, और द्वितीयक सतह स्थायी चुंबक से सुसज्जित है। यदि द्वितीयक स्थिर है, तो प्राथमिक प्रत्यावर्ती धारा प्रवाहित करता है और विद्युत चुम्बकीय बल की क्रिया के तहत द्वितीयक के साथ एक सीधी रेखा में चलता है। इसके विपरीत,

रैखिक मोटर एक ब्रश रहित तुल्यकालिक मोटर है, और सामान्य रैखिक मोटर एक सपाट संरचना या एक गोलाकार संरचना है। प्राथमिक (कॉइल वाइंडिंग) और सेकेंडरी (स्थायी चुंबक) के बीच इलेक्ट्रोमैग्नेटिक इंडक्शन इंटरैक्शन द्वारा, विद्युत ऊर्जा को कुशलतापूर्वक रैखिक गति की यांत्रिक ऊर्जा में परिवर्तित किया जा सकता है। चूंकि रैखिक मोटर्स स्थिर गति पर भी कम गति पर बड़ी शक्ति उत्पन्न कर सकते हैं, मोटर विनिर्देशों की परिभाषा में, निरंतर बल और शिखर बल को मुख्य रूप से परिभाषित किया जाता है, न कि शक्ति और टोक़ के रूप में पारंपरिक मोटर्स को परिभाषित किया जाता है। फ्लैट रैखिक मोटर के चलने वाले हिस्सों के बढ़ते छेद सीधे मशीन के भार से जुड़े हो सकते हैं, जो मशीन को कॉम्पैक्ट बना सकते हैं, मशीन संरचना डिजाइन को सरल बना सकते हैं, बिना बैकलैश के, और अन्य ट्रांसमिशन तंत्र के साथ विफलता भागों नहीं होंगे, जैसे सर्वो लीनियर गाइड बॉल स्क्रू लीवर, कपलिंग, बेल्ट या अन्य मैकेनिकल ट्रांसमिशन पार्ट्स। अंत में, रैखिक मोटर गति प्रणालियों में व्यापक बैंडविड्थ और उच्च कठोरता होती है, जिसके परिणामस्वरूप उच्च गति पर उच्च सटीकता और दोहराव होता है। उपरोक्त लाभों के आधार पर, विभिन्न प्रमुख उद्योगों में रैखिक मोटर्स का व्यापक रूप से उपयोग और विकास किया जा सकता है।

रैखिक मोटर्स की कई सामान्य संरचनाएं

आयरन कोर लीनियर मोटर, आयरनलेस लीनियर मोटर, स्लॉटलेस लीनियर मोटर, मैग्नेटिक एक्सिस लीनियर मोटर (वॉयस कॉइल मोटर), ट्यूबलर लीनियर मोटर।

सेमीकंडक्टर उद्योग परिचय

वैश्विक अर्थव्यवस्था और महामारी से प्रभावित विभिन्न उद्योगों में चिप्स की कमी एक महत्वपूर्ण मुद्दा बन गया है। इसलिए, अर्धचालक उद्योग हाल के वर्षों में तेजी से विकास वाले उद्योगों में से एक है, और यह विज्ञान और प्रौद्योगिकी उद्योग में सबसे गर्म विषयों में से एक है। वैश्विक सूचना की प्रवृत्ति के तहत, सूचना उद्योग वैश्विक अर्थव्यवस्था का एक अत्यंत महत्वपूर्ण औद्योगिक स्तंभ बन गया है, और अर्धचालक उद्योग सूचना उद्योग के केंद्र के बराबर है। सेमीकंडक्टर उद्योग लोगों के जीवन का एक महत्वपूर्ण हिस्सा बन गया है। वर्तमान में, ऑटोमोबाइल, घरेलू उपकरण, मोबाइल फोन और औद्योगिक बुद्धिमान उपकरण जैसे उद्योगों में अर्धचालक घटक अनिवार्य तत्व बन गए हैं।

विभिन्न सूचनाओं के सारांश से, हम जानते हैं कि अर्धचालक सामग्री और उपकरण अर्धचालक के उद्योग का समर्थन कर रहे हैं, और यह वर्तमान अंतर्राष्ट्रीय व्यापार संबंधों के तहत सर्वोच्च प्राथमिकता बन गया है। अर्धचालक उपकरण अर्धचालक प्रक्रिया प्रौद्योगिकी से संबंधित है। वर्तमान में, अपेक्षाकृत परिपक्व प्रक्रिया प्रौद्योगिकी में तंग उत्पादन क्षमता है। बड़े डेटा, 5जी तकनीक, इंटेलिजेंट ड्राइविंग, नई ऊर्जा वाले वाहन और एआई जैसे नए क्षेत्रों में मजबूत मांग से लाभ उठाते हुए, वेफर विनिर्माण बाजार में कई गुना वृद्धि हुई है, और उन्नत विनिर्माण प्रक्रियाएं एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाएंगी, इस प्रकार इसकी अधिक मांग है अर्धचालक उपकरण पर।

सेमीकंडक्टर उत्पादों की पूरी प्रसंस्करण प्रक्रिया अपेक्षाकृत जटिल है, जिसमें विभिन्न सटीक प्रसंस्करण शामिल हैं, जिसमें मुख्य रूप से वेफर निर्माण (फ्रंट-एंड) और पैकेजिंग (बैक-एंड) परीक्षण शामिल हैं। उन्नत पैकेजिंग तकनीक के साथ, विनिर्माण और पैकेजिंग के बीच प्रसंस्करण लिंक को मध्य-अंत कहा जाता है।

वेफर उत्पादन लाइन को सात स्वतंत्र उत्पादन क्षेत्रों में विभाजित किया जा सकता है: थर्मल प्रोसेस, फोटो-लिथोग्राफी, ईच, डाइलेक्ट्रिक डिपोजिशन, सीएमपी, मेटलाइजेशन।

पारंपरिक पैकेजिंग (बैक-एंड) परीक्षण मोटे तौर पर आठ उत्पादन प्रक्रिया में विभाजित है, जिसमें बैकसाइड थिनिंग, वेफर डाइसिंग, एसएमडी, वायर बॉन्डिंग, मोल्डिंग, इलेक्ट्रोप्लेटिंग, कटिंग, फॉर्मिंग और अंतिम परीक्षण शामिल हैं। प्रक्रिया पर्यावरण, उपकरण और सामग्री के लिए वेफर निर्माण की तुलना में सरल, कम तकनीकी रूप से कठिन और कम मांग।

सेमीकंडक्टर उत्पादों के कई प्रसंस्करण चरण होने के कारण, विनिर्माण प्रक्रिया में बड़ी संख्या में सेमीकंडक्टर उपकरणों की आवश्यकता होती है, जैसे लिथोग्राफी मशीन, एचर मशीन, प्लास्टिक फिल्म पैकेजिंग और परीक्षण, वायर बॉन्डिंग मशीन, डाई बॉन्डिंग मशीन और सॉर्टिंग मशीन, और लेजर मार्किंग मशीन, डाइसिंग मशीन, आदि। सेमीकंडक्टर उपकरण ने लगातार उच्च गति, उच्च परिशुद्धता, उच्च प्रदर्शन और उच्च गति के लिए उच्च आवश्यकताओं को आगे रखा है; ट्रांसमिशन और इसके नियंत्रण में अधिक उच्च गतिशील विशेषताएं और नियंत्रण सटीकता, उच्च गति और त्वरण, और कम टूट-फूट है।

इसलिए, अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरण में एक महत्वपूर्ण भाग बनने के लिए उच्च परिशुद्धता और उच्च दोहराव वाली रैखिक मोटर अधिक उपयुक्त हैं।

रैखिक मोटर का अनुप्रयोग

विभिन्न प्रसंस्करण और विनिर्माण क्षेत्रों में रैखिक मोटर्स को विभिन्न डिग्री पर लागू किया गया है। साथ ही, वे विभिन्न प्रसंस्करण विधियों के लिए अधिक प्रक्रिया विकल्प प्रदान करते हैं, प्रत्यक्ष या अप्रत्यक्ष रूप से तकनीकी परिवर्तनों में भाग लेते हैं। दूसरे शब्दों में, रैखिक मोटर्स अर्धचालक उद्योग की जरूरतों को भी पूरा करती है, रैखिक मोटर प्रौद्योगिकी अर्धचालक उपकरण के प्रदर्शन में सुधार कर सकती है। अर्धचालक उद्योग ने पोजिशनिंग आंदोलनों और बार-बार घूमने की अपनी विशेषताओं के कारण लंबे समय से रैखिक मोटर्स के अनुप्रयोग की शुरुआत की है। सेमीकंडक्टर उपकरण में एक रैखिक मोटर चरण या कई रैखिक मोटर मॉड्यूल हो सकते हैं, ताकि विभिन्न संचालन निर्देशों को पूरा किया जा सके और अर्धचालक घटकों के उत्पादन को पूरा किया जा सके।

मुख्य रूप से अनुप्रयोग:

1. उच्च गति उच्च परिशुद्धता माउंटिंग मशीन में एक्सजेड अक्ष चरण - एक्स-अक्ष स्थिति के लिए यू-टाइप रैखिक मोटर का उपयोग किया जाता है, और चिप्स को जल्दी से लेने और रखने के लिए जेड-अक्ष के लिए वॉयस कॉइल मोटर का उपयोग किया जाता है, यह उन उपकरणों के लिए उपयुक्त है जिनकी आवश्यकता होती है बल नियंत्रण। रैखिक मोटर का अनुप्रयोग उच्च त्वरण, उच्च गति, उच्च परिशुद्धता और उच्च आवृत्ति की आवश्यकताओं को पूरा कर सकता है।

2. डाई बोंडर में XY अक्ष चरण सेमीकंडक्टर की बाद की पैकेजिंग प्रक्रिया के लिए प्रमुख उपकरण है, जो वेफर से डाई ऑटोमैटिक पिक अप को महसूस करता है और इसे लीड फ्रेम पर रखता है। प्रक्रिया और दक्षता आवश्यकताओं के कारण, XY अक्ष में अत्यधिक उच्च गति गति और त्वरण होता है। दोनों तरफ रैखिक मोटर्स का उपयोग एक्स-अक्ष स्थिति के लिए किया जाता है, और वेफर स्थिति का उपयोग वाई-अक्ष स्थिति के लिए किया जाता है।

3. वायर बॉन्डिंग मशीन में एक्सवाईजेड अक्ष चरण, वायर बॉन्डिंग मशीन में रैखिक मोटर सिस्टम का उपयोग किया जाता है जो विभिन्न एक्स-एक्स, वाई-एक्स, जेड-एक्स के साथ उच्च गति गति प्रदान करता है, और रैखिक मोटर का लंबा स्ट्रोक होता है, जो वेल्डिंग जरूरतों की विस्तृत श्रृंखला को पूरा करने के लिए एक बड़ा वायर बॉन्डिंग प्लेटफॉर्म प्रदान कर सकता है।

4 . लिथोग्राफी मशीन में रैखिक मोटर और वॉयस कॉइल मोटर डबल वर्कपीस चरण , रैखिक मोटर लिथोग्राफी मशीन की मुख्य प्रणालियों में से एक है, मुख्य कार्य वेफर को निर्दिष्ट गति प्रक्षेपवक्र के अनुसार उच्च गति अल्ट्रा-सटीक गति करने के लिए ले जाना है, जिसमें लोडिंग और अनलोडिंग, संरेखण, वेफर प्रोफाइल माप और एक्सपोजर शामिल है, आदि। लिथोग्राफी मशीन में दो वर्कपीस टेबल होते हैं, यानी दो वर्कपीस टेबल होते हैं जो एक लिथोग्राफी मशीन में वेफर्स ले जाते हैं। दो वर्कपीस टेबल एक दूसरे से स्वतंत्र हैं, लेकिन एक ही समय में चलते हैं। जब एक वर्कपीस टेबल पर वेफर उजागर होता है, तो दूसरी वर्कपीस टेबल एक्सपोजर से पहले तैयारी का काम करती है जैसे कि वेफर की माप। जब एक्सपोजर पूरा हो जाता है, तो दो वर्कपीस टेबल स्थिति और कार्यों का आदान-प्रदान करते हैं, और इस प्रकार मंडलियों में लिथोग्राफी मशीन की उच्च उत्पादकता प्राप्त करते हैं।

ऊपर उल्लिखित अनुप्रयोग क्षेत्रों के अलावा, रैखिक मोटर्स का व्यापक रूप से विभिन्न अर्धचालक उपकरणों में उपयोग किया जाता है, जैसे पीसीबी ड्रिलिंग मशीन, सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग रोबोट, सेमीकंडक्टर वेफर पॉलिशिंग प्लेटफॉर्म, वेफर कटिंग, वेफर टेस्टिंग, वेफर पैकेजिंग, आदि। यह हो सकता है माना जाता है कि रैखिक मोटर्स पहले से ही अर्धचालक उपकरण का एक महत्वपूर्ण हिस्सा हैं।

सारांश

अर्धचालक उद्योग के तेजी से विकास के साथ, अर्धचालक घटकों की मांग भी विविध आवश्यकताओं के साथ बढ़ती जा रही है, और अर्धचालक उपकरणों के लिए उच्च आवश्यकताएं होंगी; रैखिक मोटर्स और मोटर चरण अर्धचालक उपकरण में उच्च गति और उच्च दोहराव प्रदर्शन प्रदान करते हैं, जिससे अर्धचालक उद्योग के विकास को बढ़ावा मिलता है।